Nedavno smo razgovarali o Ion implantaciji, na primjer:
Zašto jonska implantacija?
Zašto morate odstupiti od određenog ugla kada ubrizgavate jone?
Međutim, provedba ove tehnologije neminovno uzrokuje oštećenje kristalne strukture silikonskih vafla. Ova šteta potječe od sudara atomskog nivoa pokrenute visokoenergetskim joni prodireći u silikonsku rešetku. Kada visokoenergetski joni bombardiraju silicijum, njihova ogromna kinetička energija poremećaje izvorni atomski aranžman, što dovodi do rešetkastog izobličenja, izrada konkursa i akumulaciju međuprostornih atoma.
Prije
Ovi mikro oštećeni neće formirati kompozitni centar za smanjenje mobilnosti nosača, već može uzrokovati izobličenje lokalnog opsega, što će ozbiljno utjecati na električne performanse uređaja.
Kako bi se uklonili negativni efekti jonske implantacije, termička žarulja je ključni korak u popravljanju oštećenja rešetke. Postavljanjem silikonskih vafla sa implantiranim nečistoćama u određenom temperaturnom okruženju za termičko obradu, atomi rešetke mogu se preurediti i vratiti u narušenu strukturu.
U ovom procesu, atomi imperiste migriraju iz početnog položaja jaza na mjesto zamjene rešetke, kako bi se obnavljalo integritet rešetke i realizirali električnu aktiviranje nečistoća.
Prije
Konvencionalna termalna žarca obično se vrši u temperaturnom rasponu od 600-1000 stepeni. Visoko temperaturno okruženje pruža dovoljnu energiju za atomsku difuziju, ali dugotrajno toplotno postupanje može dovesti do prekomjernog difuzije nečistoća i promjenu unaprijed dizajniranog doping distribucijskog profila.
Ovaj nedostatak je posebno istaknut u procesu finog nano-skale, gdje se termička difuzija nečistoća može lako probiti kroz granicu dizajna i uzrokovati odstupanje tranzistora.
Da bi se prekinula ograničenja tradicionalnog procesa žarenja, pojavila se brza tehnologija žarenja (RTA). Ova tehnologija koristi visok izvor gustoće energije za postizanje brzog grijanja i kratkog vremenskog obrade, uključujući puls laserskih žarulje, žarulja elektronske grede i treptaju ksenonske lampe.
